技術(shù)編號：11925080
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件的互連技術(shù)領(lǐng)域，特別地涉及一種無轉(zhuǎn)移預(yù)圖形化石墨烯/金屬復(fù)合電極的碳納米管器件的碳-碳共價互連技術(shù)。背景技術(shù)迄今碳納米管已經(jīng)在場效應(yīng)晶體管、傳感器、場發(fā)射顯示器、儲能等領(lǐng)域取得了長足的發(fā)展?；ミB電極技術(shù)是碳納米管器件進(jìn)行系統(tǒng)集成的關(guān)鍵技術(shù)之一?，F(xiàn)階段基于碳納米管的微納器件通常采用傳統(tǒng)金屬如金、鉑、銅等薄膜電極。但是，金屬薄膜電極中電子遷移率較低，同時金屬電極與碳納米管有較大的肖特基勢壘，接觸電阻較大。這大大地限制了碳納米管器件在工作電壓越來越低的電子系統(tǒng)中的集成應(yīng)用。石墨烯具...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。