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一種不等間距溝槽的金屬膜電阻的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:11921061

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本實用新型涉及電子元件領域,具體來說是一種不等間距溝槽的金屬膜電阻。背景技術金屬膜電阻器就是以特種金屬或合金作電阻材料,用真空蒸發(fā)或濺射的方法,在陶瓷或玻璃基本上形成電阻膜層的電阻器,這類電阻器一般采用真空蒸發(fā)工藝制得,即在真空中加熱合金,合金蒸發(fā),使瓷棒表面形成一層導電金屬膜;刻槽和改變金屬膜厚度可以控制阻值,它的耐熱性、噪聲電勢、溫度系數(shù)、電壓系數(shù)等電性能比碳膜電阻器優(yōu)良,金屬膜電阻器的制造工藝比較靈活,不僅可以調(diào)整它的材料成分和膜層厚度,也可通過刻槽調(diào)整阻值,因而可以制成性能良好,阻值范圍...
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