技術(shù)編號(hào):11897346
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉高分子材料技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種稀土研磨液。背景技術(shù)超精密加工是現(xiàn)代尖端產(chǎn)業(yè)重要的生產(chǎn)技術(shù),其不僅要求高精度、高質(zhì)量,而且要求低成本和高的再現(xiàn)性。而超精密研磨拋光由于具有獨(dú)特的加工原理和對(duì)加工設(shè)備、環(huán)境因素要求不高等特點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)甚至原子級(jí)的加工,已成為超精密加工技術(shù)中的一個(gè)重要部分,實(shí)現(xiàn)超精密研磨拋光的關(guān)鍵材料是精密研磨制品。目前,用磨粒去除材料的去除單位已達(dá)到納米甚至是亞納米數(shù)量級(jí),要達(dá)到這樣高的表面光潔度,可以使用含有磨料的研磨液,或者使用磨料固定在薄膜上的拋光膜,分粗磨、中磨...
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