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一種球形氟氧化鑭鈰稀土拋光液及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11897011

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本發(fā)明涉及稀土拋光液技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種球形氟氧化鑭鈰稀土拋光液及其制備方法。背景技術(shù)化學(xué)機(jī)械拋光(ChemicalMechanicalpolishing)是借助超微粒子的研磨作用和漿料的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的工件表面形成光潔平坦表面,是機(jī)械磨削和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù)。該技術(shù)已逐漸被應(yīng)用于多種需要平整化的工件的化學(xué)機(jī)械拋光,尤其是在光電玻璃和半導(dǎo)體工業(yè)等電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展更為引人注目。常用的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)造是由一個(gè)旋轉(zhuǎn)的工件夾持器、承載拋光墊片的工作臺(tái)和拋光漿料供給裝置三大部分組成。作為一...
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