技術(shù)編號(hào):11897011
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及稀土拋光液技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種球形氟氧化鑭鈰稀土拋光液及其制備方法。背景技術(shù)化學(xué)機(jī)械拋光(ChemicalMechanicalpolishing)是借助超微粒子的研磨作用和漿料的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的工件表面形成光潔平坦表面,是機(jī)械磨削和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù)。該技術(shù)已逐漸被應(yīng)用于多種需要平整化的工件的化學(xué)機(jī)械拋光,尤其是在光電玻璃和半導(dǎo)體工業(yè)等電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展更為引人注目。常用的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)造是由一個(gè)旋轉(zhuǎn)的工件夾持器、承載拋光墊片的工作臺(tái)和拋光漿料供給裝置三大部分組成。作為一...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。