技術(shù)編號(hào)：11891306
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開內(nèi)容的實(shí)施方式一般涉及用于光刻圖案化的設(shè)備與方法，且更具體地，涉及用于遭受偏移與定位誤差的大型基板的光刻圖案化的設(shè)備與方法。背景技術(shù)大面積基板通常用于制造液晶顯示器(LCD)。LCD或平板顯示器通常用于有源矩陣顯示器，例如電腦、觸控面板器件、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、手機(jī)、電視監(jiān)視器等。通常，平板顯示器可包括形成像素的液晶材料層，液晶材料層夾于兩個(gè)板之間。當(dāng)來自電源的電力施加跨越液晶材料時(shí)，通過液晶材料的光的量可在促成影像產(chǎn)生的像素位置處受到控制。光刻技術(shù)通常用于產(chǎn)生被并入作為形成像素的液晶...
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