技術(shù)編號:11888530
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種拋光墊修整裝置,屬于拋光修整技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)現(xiàn)今技術(shù)的拋光墊修整器都是用“磨粒(例如:鉆石)”作為加工刀具以移除拋光墊(Pad)材料。請參閱圖1所示,拋光墊修整器Q的上方布滿磨粒d。加工拋光墊的制程中,磨粒d加工是以磨削的方式移除拋光墊上的材料。然而,由于拋光墊修整器Q上的磨粒d,其切削刃的形狀不規(guī)則,且通常磨粒d會以較大的負斜角擠入被加工材料中,屬于多點磨削的加工機制,因而在材料表面留下粗糙的犁切痕跡(ploughing)。如果為了讓表面粗糙度降低,則必須使用較高密度且較細...
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