技術(shù)編號：11886023
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種阻氣膜及阻氣膜的制造方法。本發(fā)明尤其涉及一種包含含有Si、N、H及O的無機層的阻氣膜及其制造方法。背景技術(shù)作為具有阻斷水蒸氣、氧氣等功能的阻氣膜，眾所周知有無機層，尤其是包含氮化硅層或氫化氮化硅層的阻氣膜，為了獲得高阻隔性、抗氧化性等耐久性、彎曲性已進行很多研究。一般情況下，越是致密且較硬的膜，阻隔性越高，但容易破裂，因此難以兼?zhèn)鋸澢浴榱颂岣邚澢缘葘＠墨I1中提出了在無機層與有機材料基板的界面上形成界面混合層，并且，專利文獻2中提出了在阻氣層上層疊用于應(yīng)力緩和的應(yīng)力緩和層。專...
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