技術(shù)編號：11840556
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及壓電薄膜材料，特別是一種無鉛壓電薄膜材料及其制備方法。背景技術(shù)在器件向著集成化和微型化發(fā)展的今天，鐵電薄膜材料以其優(yōu)異的電學(xué)和光學(xué)性能如優(yōu)異的介電、壓電、熱釋電、鐵電以及優(yōu)異的電光和非線性光在微電子、微機(jī)電系統(tǒng)、光電子以及集成光學(xué)等領(lǐng)域都具有非常好的應(yīng)用前景和巨大的潛在市場，鐵電薄膜的研究成為了目前高新技術(shù)研究的前沿和熱點之一。根據(jù)鐵電薄膜性能的不同，其應(yīng)用的領(lǐng)域也不同，例如具有優(yōu)異介電性能的鐵電薄膜可用于電容器、動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(DRAM)等；具有優(yōu)異壓電性能的鐵電薄膜可用于聲表面...
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