技術(shù)編號：11799391
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于化工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種硅化鎂與氯化銨反應(yīng)生產(chǎn)乙硅烷的裝置，尤其涉及一種乙硅烷反應(yīng)釜。背景技術(shù)乙硅烷是一種很有前途的硅膜先體，是半導(dǎo)體工業(yè)中頗有吸引力的特種氣體之一?？捎米鳠o定形硅薄膜、光化學(xué)纖維原料以及硅氧烷等的優(yōu)良原料，在半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景和實(shí)際價值。與甲硅烷相比，它具有沉積速度快、溫度要求低、膜均勻度高等優(yōu)越性。但是，現(xiàn)有乙硅烷的制備方法主要因產(chǎn)率低、副產(chǎn)品多、相對復(fù)雜，不利于操作導(dǎo)致生產(chǎn)成本過高，這在很大程度上限制了其應(yīng)用。目前，乙硅烷的合成方法主要有以...
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