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一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11782315

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本實(shí)用新型涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置,屬于無人機(jī)飛行控制器中微機(jī)電系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)溫度補(bǔ)償裝置。背景技術(shù)目前MEMS陀螺儀和加速度計(jì)受工藝限制,在不同的溫度下輸出有較大的參數(shù)漂移。以往的處理方案主要把傳感器置于緩慢變化的人工環(huán)境下,記錄不同溫度點(diǎn)對(duì)應(yīng)的參數(shù)輸出,獲得該期間的溫度補(bǔ)償曲線,然后再軟件上做相應(yīng)的補(bǔ)償。這種方案需要較長(zhǎng)的時(shí)間來獲得溫度補(bǔ)償曲線,并且由于MEMS元件的特性,一旦傳感器受到輕微撞擊,溫度補(bǔ)償曲線也需要相應(yīng)變化。而用戶在生產(chǎn)環(huán)境下通常是沒有相應(yīng)的設(shè)備和條件來重新做溫度補(bǔ)償...
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