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微衍射的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11733339

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本發(fā)明涉及一種X射線衍射的方法和裝置。背景技術(shù)X射線衍射是一種眾所周知的用于材料分析的技術(shù)。在許多情況下,不只是在樣品上的一個(gè)點(diǎn)處而是在樣品表面上的多個(gè)點(diǎn)處進(jìn)行材料分析是有用的。對(duì)于在整個(gè)表面上不是均勻晶體的樣品尤其如此。在這種情況下,進(jìn)行以非常小的點(diǎn)照射樣品的X射線衍射從而使在該點(diǎn)處能夠測(cè)量衍射通常是必要的。這產(chǎn)生了很多困難。所述點(diǎn)通常使用一個(gè)針孔或其它專用于微衍射的X射線光學(xué)器件來實(shí)現(xiàn),這會(huì)導(dǎo)致很低的X射線強(qiáng)度。此外,為了使樣品的其它區(qū)域成像,有必要移動(dòng)所述樣品(或等同地移動(dòng)所述斑點(diǎn)),這需...
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