技術(shù)編號：11705944
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種差壓流量傳感器及其加工方法，尤其是一種基于MEMS技術(shù)的差壓流量傳感器及其加工方法。背景技術(shù)在工業(yè)生產(chǎn)、日常生活中，流量作為能源計量及其重要的組成部分之一，對于科學(xué)實驗計量、經(jīng)濟(jì)核算以及工程生產(chǎn)都具有及其重要的意義。從上兩個世紀(jì)的石油、機(jī)械、冶金到航空、熱電等不同領(lǐng)域的流量檢測，現(xiàn)在已經(jīng)深入發(fā)展到了醫(yī)療器械、汽車電子等諸多領(lǐng)域。不同流體的性狀、流動條件、流動狀態(tài)以及感測機(jī)理的復(fù)雜多樣給流體的測量帶來了諸多不便，同時也使得流量計的測量原理、測量精度、適用條件以及價格多樣化。壓差流量計...
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