技術(shù)編號(hào)：11692082
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。制造制程中的誤差檢測(cè)方法相關(guān)申請(qǐng)案的交互參照本申請(qǐng)主張于2015年10月1日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)?zhí)枮?2/235,889的優(yōu)先權(quán)。技術(shù)領(lǐng)域本申請(qǐng)涉及制造過程中的誤差檢測(cè)，尤指一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體制造誤差以及自動(dòng)確定何時(shí)關(guān)閉一制造工具的統(tǒng)計(jì)制程控制方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體晶片上的集成電路的制造可能涉及制造以及加工的多個(gè)階段，并可能需要數(shù)個(gè)用于檢測(cè)制造誤差的制程。當(dāng)在一晶圓或一批晶圓上發(fā)現(xiàn)重大的制造誤差時(shí)，則這些晶圓為有缺陷且不可用的，需要關(guān)閉制造工具并進(jìn)行調(diào)整或固定以防止繼續(xù)制造出具有此重大缺陷的晶圓...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。