技術編號：11642957
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于多線切割機領域，具體涉及一種多線切割機導輪。背景技術多線切割機是目前單晶硅、多晶硅及電子級硅、藍寶石等硬脆材料加工的主要設備，TTV是晶片質量最主要的參數(shù)之一，而導輪的形變直接影響晶片TTV。其次，導輪的轉動慣量直接決定了驅動組件的功率，轉動慣量越小，驅動組件的功率越小。目前，市面上的多線切割機普遍存在功耗大，效率低，晶片TTV參數(shù)偏大。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術存在的問題，提供一種多線切割機導輪，保證了導輪的剛度和慣量，從而保證了晶片的加工精度和質量。為實現(xiàn)上述技術目的，達...
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