技術(shù)編號(hào):11613628
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。采用反應(yīng)磁控濺射法制備高性能Ti/TiN/(AlTiCuSi)N涂層的方法技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及磁控濺射制備薄膜領(lǐng)域,具體的涉及采用反應(yīng)磁控濺射法制備高性能Ti/TiN/(AlTiCuSi)N涂層的方法。背景技術(shù):由于現(xiàn)代工業(yè)的高速發(fā)展,以及人們對(duì)高速無(wú)切削液加工的方式的追求,難加工材料加工需求也越來(lái)越多,對(duì)刀具提出了各種更加苛刻的要求,例如高硬度、抗高溫氧化、耐磨損、膜/基結(jié)合力好等特點(diǎn)。涂層作為一種提高刀具性能的有效手段,受到更廣泛的重視,使得刀具涂層行業(yè)得到快速的發(fā)展,對(duì)涂層的研究也不斷深入...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。