技術編號：11613605
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微電子技術領域，特別涉及一種鈦酸鋇納米鐵電薄膜的制備方法，可用于鐵電薄膜及半導體器件的制備。背景技術鐵電材料是一類具有鐵電性，壓電性，高介電常數(shù)，光電性等特性的功能材料。鐵電薄膜是一種在金屬、半導體或絕緣體等特定基片上生長出厚度在數(shù)十納米至數(shù)十微米之間的薄膜，其能夠很好地與微納系統(tǒng)結(jié)合，減小器件尺寸并實現(xiàn)特定功能應用。鐵電薄膜已發(fā)展成為微電子器件及光學器件中常用的一類薄膜材料，在家電、通信、航空航天以及國防等領域均有引人注目的應用。除此之外，鐵電薄膜在計算機非易失性存儲器、集成電容器、...
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