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基于石墨烯的薄膜層疊體及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11592988

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本發(fā)明涉及一種基于石墨烯的薄膜層疊體的制造方法以及所述基于石墨烯的薄膜層疊體。背景技術(shù)石墨烯是碳原子之間的間距約為且形成為正六邊形結(jié)構(gòu)的2維物質(zhì)。所述石墨烯具有優(yōu)良的強度、熱導(dǎo)率以及電子遷移率等特性,所以可以應(yīng)用于透明電極或者基于石墨烯的各種電子元件。石墨烯通??梢岳脵C械剝離法、化學(xué)沉積法、外延合成法或者化學(xué)剝離法等方法而制造。如此制造的石墨烯的面電阻為幾千Ω/sq,所以需要減少面電阻以應(yīng)用于工業(yè)。為了改善面電阻,正在嘗試層疊多層石墨烯的方法。但是在這種情況下,工序執(zhí)行次數(shù)增加,從而導(dǎo)致成本或...
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