技術(shù)編號：11566828
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多晶硅片加工領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅片的加工方法。背景技術(shù)多晶硅片的生產(chǎn)流程是先在鑄錠爐中鑄錠形成晶錠，再將晶錠在開方機上開方形成晶棒，然后將晶棒粘接在晶托上，最后將載有晶棒的晶托裝于切片機上進行切片制成多晶硅片，最后經(jīng)過脫膠、清洗、烘干后得到多晶硅片成品?，F(xiàn)有的金剛線切片機包括具有切片室的機架、平行設置在所述切片室內(nèi)的兩個導線輪、纏繞在所述的兩導線輪上的金剛線和設置在所述切片室內(nèi)所述金剛線上方的可上下移動的升降臺，所述升降臺上設有可拆卸的晶托，所述晶托上粘接有樹脂板，所述樹脂板上...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。