技術編號：11531479
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。多層壓電薄膜元件本發(fā)明通常涉及適于致動器、傳感器、能量收集設備和多層電容器中的使用的壓電薄膜元件以及制造該元件的方法。特別地，但不排他地，涉及適合用作噴墨打印機中的打印頭的致動器的壓電薄膜元件、以及包括該元件的致動器、包括致動器的打印頭和包括該打印頭的噴墨打印機。適合用作噴墨打印機中的打印頭的致動器的典型薄膜壓電元件包括在襯底上形成的金屬或金屬氧化物底部電極、金屬頂部電極和插入在頂部和底部電極之間的壓電薄膜。壓電薄膜可以通過包含濺射、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、脈沖激光沉積(...
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