技術(shù)編號：11521947
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制作領(lǐng)域技術(shù)，特別涉及一種氣敏層的材料為Nb2O5的CMOS氣體傳感器。背景技術(shù)氣體傳感器是一種將氣體中特定的成分通過某種原理檢測出來，并且把檢測出來的某種信號轉(zhuǎn)換成適當(dāng)?shù)碾妼W(xué)信號的器件。隨著人類對環(huán)保、污染及公共安全等問題的日益重視，以及人們對于生活水平的要求的不斷提高，氣體傳感器在工業(yè)、民用和環(huán)境監(jiān)測三大主要領(lǐng)域內(nèi)取得了廣泛的應(yīng)用。根據(jù)氣體傳感器檢測氣體的原理的不同，氣體傳感器主要包括催化燃燒式、電化學(xué)式、熱導(dǎo)式、紅外吸收式和半導(dǎo)體式氣體傳感器等。其中，半導(dǎo)體式氣體傳感器包括...
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