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在場(chǎng)電介質(zhì)上具有故障安全熔絲的IC的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11521921

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所揭示的實(shí)施例涉及半導(dǎo)體集成電路(IC)裝置上的熔絲。背景技術(shù)熔絲以各種工藝技術(shù)經(jīng)實(shí)施用于多種不同半導(dǎo)體IC裝置。舉例來說,多晶硅熔絲可用于對(duì)存儲(chǔ)器裝置進(jìn)行編程,所述存儲(chǔ)器裝置例如可編程只讀存儲(chǔ)器(PROM)、可編程邏輯陣列(PLA)及冗余存儲(chǔ)器陣列。通常在這些存儲(chǔ)器裝置的制造期間形成熔絲陣列,所述熔絲陣列通常形成于厚度可為1μm或更多的場(chǎng)氧化物層上。PROM或PLA裝置中的熔絲用于針對(duì)特定應(yīng)用定制PROM或PLA裝置。通過燒斷(或熔斷)所選擇的存儲(chǔ)器單元中的適當(dāng)熔絲對(duì)PROM或PLA裝置進(jìn)行編...
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