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一種基于DNA納米結(jié)構(gòu)的金屬納米電路圖案的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11502303

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本發(fā)明涉及納米制造領(lǐng)域,具體涉及一種基于DNA納米結(jié)構(gòu)的金屬納米電路圖案的制備方法。背景技術(shù)集成電路(IntegratedCircuit,簡稱IC)是20世紀(jì)60年代初期發(fā)展起來的一種新型半導(dǎo)體器件。在電子學(xué)上,集成電路技術(shù)實(shí)際上就是一種電路小型化技術(shù),它是經(jīng)過氧化、光刻、擴(kuò)散、外延、蒸鋁等半導(dǎo)體制造工藝,把構(gòu)成具有一定功能的電路所需的半導(dǎo)體、電阻、電容等元件及它們之間的連接導(dǎo)線全部集成在一小塊硅片上,然后焊接封裝在一個管殼內(nèi)的電子器件。目前,以數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化為特征的信息技術(shù)正滲透和改造著各產(chǎn)業(yè)...
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