技術(shù)編號：11502300
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)和其制造方法。背景技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置為微尺寸裝置，通常尺寸范圍為從小于1微米到數(shù)毫米。MEMS裝置包含形成于襯底(例如，晶片)上的機械元件(固定元件和/或可移動元件)以感測物理狀態(tài)，例如力、加速度、壓力、溫度或振動，以及電子元件以處理電信號。MEMS裝置廣泛用于例如音響系統(tǒng)(acousticsystem)、汽車系統(tǒng)(automotivesystem)、慣性引導系統(tǒng)(inertialguidancesystem)、家用電器(householdappl...
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