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尤其用于基體的除氣的設(shè)備和方法與流程技術(shù)資料下載

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尤其用于基體的除氣的設(shè)備和方法背景技術(shù)發(fā)明背景:除氣意指去除氣體,尤其是去除(i)來(lái)自類(lèi)似于水的蒸發(fā)液體的氣體、或者(ii)使粘附到表面的材料升華所產(chǎn)生的蒸氣、或者(iii)在真空技術(shù)中,一旦周?chē)鷫毫ο陆档狡湔魵鈮毫χ戮蛷模▔K體)材料脫氣的物質(zhì)。在某些真空處理過(guò)程(尤其是真空濺射涂覆(vacuumsputtercoating)過(guò)程)中,除氣是重要的過(guò)程步驟,因?yàn)闅堄鄽怏w可以導(dǎo)致沉積層的劣化粘附或者沉積物中的不想要的副產(chǎn)物。人們將常壓和亞常壓除氣區(qū)別開(kāi)。如術(shù)語(yǔ)所暗示的,亞常壓除氣發(fā)生在如下環(huán)境中...
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