技術(shù)編號(hào):11452421
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。改善混合式掃描離子束注入機(jī)的生產(chǎn)率的系統(tǒng)及方法相關(guān)申請(qǐng)的引用本申請(qǐng)請(qǐng)求于2014年12月26日提交、標(biāo)題為“改善混合式掃描離子束注入機(jī)的生產(chǎn)率的系統(tǒng)及方法(SYSTEMANDMETHODTOIMPROVEPRODUCTIVITYOFHYBRIDSCANIONBEAMIMPLANTERS)”的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)62/096,976的優(yōu)先權(quán)及權(quán)益,其全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用的方式完整并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體處理系統(tǒng),更具體地涉及用于在離子注入期間提供改善的離子束建立時(shí)間(setuptime)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。