技術(shù)編號：11429040
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在包含由以銅為主成分的物質(zhì)形成的銅層及由以鉬為主成分的物質(zhì)形成的鉬層的多層薄膜的蝕刻中使用、即使在高的銅濃度下也具有穩(wěn)定的蝕刻性能的液體組合物及使用其的蝕刻方法、以及顯示裝置的制造方法。背景技術(shù)以往，作為平板顯示器等顯示裝置的布線材料，通常使用鋁或鋁合金。但是，隨著顯示器的大型化及高分辨率化，這樣的鋁系的布線材料會發(fā)生由布線電阻等特性引起的信號延遲的問題，有難以實現(xiàn)均勻的畫面顯示的傾向。因此，采用由銅、銅合金等以銅為主成分的物質(zhì)形成的布線作為電阻更低的材料的例子正在增加。但是，雖然以銅...
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