技術(shù)編號:11426387
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及藍(lán)寶石晶體制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種藍(lán)寶石襯底片切片后的分類方法。背景技術(shù)藍(lán)寶石(A-氧化鋁)晶體材料是無色透明單晶材料,具有高強(qiáng)度、高硬度(莫氏9級)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好等一系列優(yōu)良的綜合物化性能,廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料。當(dāng)藍(lán)寶石襯底由2英寸過渡到4英寸時,單純的拋光面與研磨面之間的應(yīng)力差已經(jīng)不能夠控制藍(lán)寶石襯底向拋光面一側(cè)彎曲,襯底面型會跟隨晶片在SagX、SagY方向的翹曲(Warp)程度而呈現(xiàn)不同的Bow值。現(xiàn)行的4英寸藍(lán)寶石襯底片切片后按晶棒批次進(jìn)行管理,其后研磨工...
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