技術(shù)編號:11409834
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體裝置以及用于制造半導(dǎo)體裝置的方法相關(guān)申請的交叉引用通過引用將2016年2月24日提交的日本專利申請No.2016-032688的公開(包括說明書、附圖和摘要)的全部內(nèi)容并入本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置以及用于制造該半導(dǎo)體裝置的方法,并且本發(fā)明能夠適合地用于例如包括非易失性存儲器的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)作為電可寫且可擦除的非易失性存儲器,EEPROM(電可擦除可編程只讀存儲器)已被廣泛使用。這些當(dāng)前廣泛使用的由閃存存儲器代表的儲存裝置包括MISFET的柵極電極之下由氧化物膜圍繞的捕獲絕...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。