技術編號:11405330
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種將透射電鏡樣品機械預減薄到所需要的尺寸的方法,特別適用于橫截面透射電鏡樣品機械預減薄,同樣也適用于塊體材料的透射電鏡樣品的機械預減薄,屬于透射電鏡樣品制備領域。背景技術透射電子顯微鏡(TEM)是觀察和分析材料形貌、組織和結構的有效工具。樣品的制備在電子顯微學的研究中起著決定性的作用。聚焦離子束(FIB)可以制備較好的透射電鏡試樣,但是其設備昂貴、制備試樣成本高,并不能在所有的科研機構普及。因此,傳統(tǒng)的方法如電解雙噴、離子減薄、超薄切片等仍然是主要的透射電鏡試樣制備方法。這些方法在制...
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