技術(shù)編號：11377851
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于光伏領(lǐng)域，涉及一種太陽能電池片刻蝕設(shè)備。背景技術(shù)圖1顯示為現(xiàn)有太陽能電池片工藝流程，包括如下步驟：清洗制絨、擴散制結(jié)、邊緣刻蝕/背拋光/去除磷硅玻璃、PECVD鍍膜、絲網(wǎng)印刷/燒結(jié)。其中，邊緣刻蝕/背拋光/去除磷硅玻璃通過RENA刻蝕實現(xiàn)。如圖2所示，在太陽能電池片的RENA刻蝕過程中，依次會通過蝕刻槽、第一水槽、堿洗槽、第二水槽、酸洗槽、第三水槽。其中蝕刻槽中的溶液由硝酸、氫氟酸和硫酸的混合液組成，由于混合液的表面張力，電池片漂浮在蝕刻槽溶液上，進行邊緣刻蝕及背面拋光，以去除電池...
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