技術(shù)編號(hào)：11331915
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于在被成膜基板上形成規(guī)定圖案的蒸鍍膜的蒸鍍單元、蒸鍍裝置以及蒸鍍方法。背景技術(shù)近年來，在各種商品和領(lǐng)域中利用平板顯示器，且要求平板顯示器進(jìn)一步大型化、高畫質(zhì)化、低消耗電力化。在這樣的狀況下，具備利用有機(jī)材料的電場(chǎng)發(fā)光(電致發(fā)光；以下記為「EL」)的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置，作為全固體型且在低電壓驅(qū)動(dòng)、高速響應(yīng)性、自發(fā)光性等方面優(yōu)異的平板顯示器，受到高度關(guān)注。有機(jī)EL顯示裝置，例如在有源矩陣方式的情況下，具有如下結(jié)構(gòu)：在設(shè)置有TFT(薄膜晶體管)的由玻璃基板等構(gòu)成的基板上，設(shè)置有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。