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基于硅基光電探測器的硬X射線探測器的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11322500

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本發(fā)明涉及一種X射線探測器,尤其涉及一種基于硅基光電探測器的硬X射線探測器。背景技術X射線在醫(yī)學診斷、無損檢測和安全檢查等領域具有重要的技術價值,在科研、生產(chǎn)、生活等許多領域得到了廣泛應用;硬X射線由于其穿透深度更深,在工業(yè)及醫(yī)療方面使用廣泛;現(xiàn)有的硬X射線探測器大多采用基于CsI、CdWO4等閃爍晶體的光子轉(zhuǎn)換原理來實現(xiàn)探測,目前,還沒有采用硅基探測器實現(xiàn)硬X射線直接探測成像的報導;基于閃爍晶體的硬X射線探測器在對硬X射線進行探測時,需要先通過光子轉(zhuǎn)換過程將X光子轉(zhuǎn)換為可見光子或者紫外光子,然...
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