技術(shù)編號：11289754
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明實施例涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板及其制備方法、顯示面板。背景技術(shù)薄膜晶體管是一種場效應(yīng)晶體管，因其具備較高的電子遷移率、較小的亞閥值擺幅和較低的關(guān)態(tài)電流，可以作為平板顯示器(例如液晶顯示器)的關(guān)鍵器件，對顯示器的性能具有十分重要的作用。薄膜晶體管一般包括有源層、源極、柵極和漏極，有源層可以分為源區(qū)、漏區(qū)和溝道區(qū)，在薄膜晶體管中，源漏極與有源層之間的接觸電阻和溝道區(qū)電阻是決定薄膜晶體管器件好壞的關(guān)鍵因素。在薄膜晶體管工作過程中，源漏極與有源層之間的接觸電阻一般需要較小的電阻，要...
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