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蒸鍍掩膜、蒸鍍裝置、及蒸鍍掩膜的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11285706

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本發(fā)明關(guān)于蒸鍍掩膜及蒸鍍掩膜的制造方法。背景技術(shù)近年,平板顯示器在各式商品或領(lǐng)域中被活用,持續(xù)追求平板顯示器進(jìn)一步大型化、高畫(huà)質(zhì)化、低耗電量化。在這樣的狀況下,具備有利用有機(jī)材料或無(wú)機(jī)材料的電致發(fā)光(ElectroLuminescence,以下記載為「EL」)的EL元件的EL顯示裝置,作為全固態(tài)型且低電壓驅(qū)動(dòng)、高速響應(yīng)性、自發(fā)光性等優(yōu)異特點(diǎn)的平板顯示器,引起高度關(guān)注。EL顯示裝置,為了實(shí)現(xiàn)全彩顯示,具備對(duì)應(yīng)于構(gòu)成像素的多個(gè)子像素射出所期望的色的光的發(fā)光層。發(fā)光層,于蒸鍍工序,使用設(shè)有高精度的開(kāi)口...
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