技術(shù)編號：11284959
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及TFT-LCD技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種TFT基板的檢測裝置和一種TFT基板的檢測方法。背景技術(shù)TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)是目前的主流顯示產(chǎn)品，近年來各大面板廠商都在不斷擴大生產(chǎn)規(guī)模，市場需求隨著智能手機，電視的普及越來越大，提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)高質(zhì)量的基板是占領(lǐng)市場的關(guān)鍵。但在大面積TFT基板的生產(chǎn)過程中，Array工廠內(nèi)經(jīng)常會發(fā)生由于鍍膜不均、顯影不均或者刻蝕不均等原因造成的TFT基板上大面積的Mura，特別是在有機...
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