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一種柔性薄膜晶體管及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11278092

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本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種柔性薄膜晶體管及其制造方法。背景技術(shù)柔性薄膜晶體管因其體積薄、重量輕、功耗低、柔性可彎折和耐沖擊性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),在各種大、中、小尺寸的產(chǎn)品上得到廣泛應(yīng)用,幾乎涵蓋了當(dāng)今信息社會(huì)的主要電子產(chǎn)品,如:手機(jī)、車(chē)載顯示、電子書(shū)等,具有非常廣闊的應(yīng)用前景。然而,現(xiàn)有的制作柔性薄膜晶體管一般在柔性基底上直接形成薄膜晶體管,而柔性基底一般為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜樹(shù)脂(PES)、聚酰亞胺(PI)等材料,薄膜晶體管一般通過(guò)透明導(dǎo)電薄膜沉積...
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