技術編號：11153086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種glitch信號處理裝置，尤其涉及離子注入機的一種glitch信號處理裝置。背景技術離子注入機作為一種半導體器件制造中的摻雜設備，是整個半導體器件生產流程上重要組成部分。離子注入的主要功能是通過改變芯片內載流子的分布從而達到所需的電參數，其中包括源漏極間的串聯(lián)電阻，優(yōu)化其沿路的電場分布，降低甚至消除短溝道效應，降低CMOS的工作電壓，提高運行速度，降低寄生電容及功耗。目前離子注入機發(fā)展方向是向著低能大束流的方向發(fā)展。當束流大能量低時，單位空間的帶電粒子量增多，當出現(xiàn)其他擾動時極易發(fā)...
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