技術(shù)編號：11138002
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。頻率調(diào)諧射頻功率源的基于功率失真的伺服控制系統(tǒng)本申請是申請日為2012年12月28日、申請?zhí)枮?01210587127.9且名稱為“頻率調(diào)諧射頻功率源的基于功率失真的伺服控制系統(tǒng)”的發(fā)明的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本公開總體涉及射頻(RF)發(fā)生器，更具體地涉及RF發(fā)生器的頻率控制。背景技術(shù)這里提供背景技術(shù)描述的目的在于總體呈現(xiàn)本公開的背景。當(dāng)前署名的發(fā)明人的工作，就本背景技術(shù)部分描述的工作而言，以及可能不是申請之時的現(xiàn)有技術(shù)的描述的方面，既非明示也非暗示承認(rèn)為本公開的現(xiàn)有技術(shù)。在半導(dǎo)體制造中常常使用等離...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。