技術(shù)編號：10896669
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前，在硅片刻蝕工藝生產(chǎn)過程中，由于噴水異?；蛘邍娝坎▌?，導(dǎo)致載體上部分位置水膜無法完全覆蓋，不能起到良好的掩膜效果，導(dǎo)致不良產(chǎn)品產(chǎn)生;另外局部水量過大，過量的水進(jìn)入槽體稀釋藥液，導(dǎo)致藥液使用量增加，增加了生產(chǎn)成本。發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有問題，本實用新型提供了一種水膜覆蓋裝置，其能夠在不影響生產(chǎn)的情況下，保證水膜達(dá)到完全覆蓋的效果，減少不良片的產(chǎn)生，降低化學(xué)藥品損耗。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水...
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