一種水膜覆蓋裝置的制造方法
【專利摘要】一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺，所述輸料臺上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩側，所述固定耳上設置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上，本實用新型可有效實現(xiàn)水膜的覆蓋，并且可有效降低藥液使用量，減少了生產(chǎn)成本，增加了產(chǎn)品質量。
【專利說明】
_種水膜覆蓋裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種水膜覆蓋裝置，具體涉及一種在硅片刻蝕工藝中對硅片進行覆蓋水膜使用的水膜覆蓋裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在硅片刻蝕工藝生產(chǎn)過程中，由于噴水異?；蛘邍娝坎▌樱瑢е螺d體上部分位置水膜無法完全覆蓋，不能起到良好的掩膜效果，導致不良產(chǎn)品產(chǎn)生;另外局部水量過大，過量的水進入槽體稀釋藥液，導致藥液使用量增加，增加了生產(chǎn)成本。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
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[0004]為解決現(xiàn)有問題，本實用新型提供了一種水膜覆蓋裝置，其能夠在不影響生產(chǎn)的情況下，保證水膜達到完全覆蓋的效果，減少不良片的產(chǎn)生，降低化學藥品損耗。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術方案:一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺，所述輸料臺上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩偵U，所述固定耳上設置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。
[0006]進一步，所述擋板為PP材質擋板。
[0007]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型可有效實現(xiàn)水膜的覆蓋，并且可有效降低藥液使用量，減少了生產(chǎn)成本，增加了產(chǎn)品質量。
【附圖說明】
[0008]為對本實用新型做進一步說明，下面列舉附圖和【具體實施方式】。
[0009]圖1為本實用新型結構示意圖。
【具體實施方式】
[0010]如圖1所示，一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺I，所述輸料臺I上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳2及擋板3組成，所述固定耳2位于擋板3的兩側，所述固定耳2上設置有螺栓固定裝置，所述固定耳2通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。
[0011]進一步，所述擋板3為PP材質擋板。
[0012]顯而易見，上述實施方式僅僅為本實用新型的其中一個實施例，任何在本實用新型所提供結構或原理上的簡單改變均屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺，其特征在于所述輸料臺上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩側，所述固定耳上設置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。2.根據(jù)權利要求1所述的一種水膜覆蓋裝置，其特征在于所述擋板為PP材質擋板。
【文檔編號】H01L21/67GK205582895SQ201620321882
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年4月18日
【發(fā)明人】任壯, 陳陽泉, 錢金梁
【申請人】潤峰電力有限公司