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借助過程氣體循環(huán)以多重等離子體進(jìn)行等離子體處理的設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):10693613

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等離子體處理例如在太陽能電池制造、微電子技術(shù)或基底表面(例如玻璃)的提純中用于沉積或去除層或顆粒,或用于例如通過等離子體浸沒-離子注入來添加層。為了提高在等離子體處理中的產(chǎn)量,應(yīng)用了批量系統(tǒng)(batch-System),在批量系統(tǒng)中同時(shí)處理多個(gè)基底。在此,可以并排或上下相疊地布置具有待處理的表面的基底。由US 4,287,851 B和EPO 143 479 Al中公知了一種設(shè)施,在該設(shè)施中,給每個(gè)基底都配屬了與其他的等離子體處理區(qū)分開運(yùn)行的等離子體處理區(qū)。...
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