技術(shù)編號：10666050
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體工藝或襯底加工工藝中，常需要使用襯底支持單元來支持和/或傳輸襯底，以使襯底能合適于進(jìn)行所需工藝或到達(dá)所需的地點(diǎn)進(jìn)行所需工藝。而在襯底支持裝置支持襯底的過程中，襯底難免會受到重力的影響而產(chǎn)生彎曲(bending)，因此襯底支持裝置所提供給襯底的支持效果相當(dāng)程度地影響工藝的質(zhì)量以及產(chǎn)品的良率。請參照圖1，其為一種公知機(jī)臺裝置4的示意圖，公知機(jī)臺裝置4包含有平臺承載單元41及襯底支持單元42，而平臺承載單元41可供襯底S平貼置放于其上，且襯底S面積略大于...
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