技術(shù)編號(hào):10666049
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。請(qǐng)參照?qǐng)D1A及圖1B,圖1A顯示傳統(tǒng)晶圓保持器100的剖面圖,圖1B顯示傳統(tǒng)工藝的晶圓140的示意圖。晶圓保持器100包含保持器主體110及多數(shù)個(gè)支撐件120,其中支撐件120間隔環(huán)設(shè)于保持器主體110內(nèi)側(cè)。而在制造過(guò)程中,晶圓140則是以面朝下(face-down)的方式設(shè)置在支撐腳120上。因此,如圖1B所示,晶圓140設(shè)置以對(duì)應(yīng)于支撐腳120的表面處,即對(duì)應(yīng)產(chǎn)生壓痕(mark) 142A。然而,由于晶圓140在制造過(guò)程中往往須保持在高溫狀態(tài),因此一般...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。