技術(shù)編號：10617057
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。—直以來，在例如對硅晶圓等薄板狀工件進(jìn)行平面加工的情況下，使用雙面研磨裝置或雙面拋光(歹、；/7°)裝置。例如，雙面研磨裝置在粘貼了由聚氨酯泡沫或無紡布構(gòu)成的研磨布的上下磨板之間，配置在外周部具有行星齒輪的圓盤狀的載具。將工件保持在該載具的保持孔內(nèi)，使與行星齒輪嚙合的太陽齒輪和內(nèi)齒輪相互旋轉(zhuǎn)，由此產(chǎn)生載具的自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)運動。通過該自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)、以及上下磨板的旋轉(zhuǎn)和與工件的滑動，從而同時研磨工件的上下面。在研磨時，為了高效進(jìn)行研磨，從設(shè)置在上磨板上的多個孔供給研...
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