技術(shù)編號(hào):10577139
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在顯示器領(lǐng)域中,感光性樹脂組合物用于形成光致抗蝕劑、絕緣膜、保護(hù)膜、黑底、 柱狀間隔物等多種光固化圖案。具體而言,利用光刻法工序?qū)Ω泄庑詷渲M合物進(jìn)行選擇 性曝光及顯影,形成期望的光固化圖案。在該過程中,為了提高工序上的收率,提高應(yīng)用對(duì) 象的物性,要求具有高感度的感光性樹脂組合物。 感光性樹脂組合物的圖案形成采用光刻法即由光反應(yīng)產(chǎn)生的高分子極性變化及 交聯(lián)反應(yīng)。特別地,在曝光后,利用對(duì)于堿水溶液等溶劑的溶解性的變化特性。利用感光性樹脂組合物的圖案形成,根...
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