技術(shù)編號(hào)：10071754
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。中國(guó)作為發(fā)展中的大國(guó)，處于晶全元器件行業(yè)高速發(fā)展階段，由于市場(chǎng)需求的擴(kuò)大，生產(chǎn)加工中用水需求量逐年增加，特別是切割廢水的危害性引起業(yè)界的高度重視，在水源污染及環(huán)境破壞情況日益加劇的情況下，節(jié)約水資源利用，增加廢水處理效果和效率，是行業(yè)面臨的課題之一。半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，對(duì)硅圓片進(jìn)行切割時(shí)需要使用純水進(jìn)行沖洗，導(dǎo)致產(chǎn)生的含有孔徑很小的納米級(jí)的水溶性硅顆粒物質(zhì)和清洗劑的工業(yè)廢水，因?yàn)樵擃悘U水所含其他雜質(zhì)很少，通常采用超濾機(jī)將其中的該類物質(zhì)和清洗劑去除，重新...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。