技術編號：10054198
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前商用干涉儀使用的光源多數是單橫模激光，它具有很強的空間相干性和時間相干性，所以在干涉成像系統(tǒng)里，光學元件表面的反射或散射都很容易產生雜散條紋，尤其是平行光學元件(如CCD前面的保護玻璃蓋、偏振分光棱鏡、被測平形平板等)表面反射會引起多表面干涉，將嚴重影響波前測量結果。為了抑制相干噪聲，常規(guī)的做法就是在成像光路中，設置光闌或擋板，濾除一部份的雜散光；對系統(tǒng)里的平行光學元件鍍增透膜以減小反射；在測量平行平板的反射波前時，在平板后表面涂抹凡士林等。但這些方法...
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