時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種改善照明條件的擴(kuò)展光源的干涉系統(tǒng)，尤其涉及一種用于光學(xué)平面檢測(cè)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前商用干涉儀使用的光源多數(shù)是單橫模激光，它具有很強(qiáng)的空間相干性和時(shí)間相干性，所以在干涉成像系統(tǒng)里，光學(xué)元件表面的反射或散射都很容易產(chǎn)生雜散條紋，尤其是平行光學(xué)元件(如CCD前面的保護(hù)玻璃蓋、偏振分光棱鏡、被測(cè)平形平板等)表面反射會(huì)引起多表面干涉，將嚴(yán)重影響波前測(cè)量結(jié)果。為了抑制相干噪聲，常規(guī)的做法就是在成像光路中，設(shè)置光闌或擋板，濾除一部份的雜散光；對(duì)系統(tǒng)里的平行光學(xué)元件鍍?cè)鐾改ひ詼p小反射；在測(cè)量平行平板的反射波前時(shí)，在平板后表面涂抹凡士林等。但這些方法既不方便也并不能很好的達(dá)到濾除相干噪聲的目的。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0004]本實(shí)用新型提供了一種時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器、親合系統(tǒng)、空間光調(diào)器、第一透鏡、第二透鏡、旋轉(zhuǎn)毛玻璃、第三透鏡、分光鏡、反射鏡和準(zhǔn)直鏡，被測(cè)鏡設(shè)置在分光鏡的后側(cè)。
[0005]優(yōu)選的，上述激光器為He-Ne激光器，出射的光束波長(zhǎng)為632.8nm。
[0006]優(yōu)選的，上述反射鏡與準(zhǔn)直鏡的法線(xiàn)與激光發(fā)射方向垂直。
[0007]優(yōu)選的，上述反射鏡與準(zhǔn)直鏡分別設(shè)置在分光鏡的兩側(cè)。
[0008]優(yōu)選的，上述干涉系統(tǒng)還包括(XD，所述(XD設(shè)置在準(zhǔn)直鏡的后側(cè)。
[0009]本實(shí)用新型提供的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過(guò)毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布原理，通過(guò)改進(jìn)照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)干涉儀時(shí)間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，使干涉儀的相干性曲線(xiàn)基本符合理論計(jì)算的結(jié)果。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記:1_激光器；2_親合系統(tǒng)；3_空間光調(diào)器；4_第一透鏡；5_第二透鏡；6-旋轉(zhuǎn)毛玻璃；7_第三透鏡；8_分光鏡；9_反射鏡；10_準(zhǔn)直鏡；11-C⑶；12_被測(cè)鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器1、耦合系統(tǒng)2、空間光調(diào)器3、第一透鏡4、第二透鏡5、旋轉(zhuǎn)毛玻璃6、第三透鏡7、分光鏡8、反射鏡9和準(zhǔn)直鏡10，被測(cè)鏡12設(shè)置在分光鏡8的后側(cè)。
[0014]其中，激光器1為He-Ne激光器，出射的光束波長(zhǎng)為632.8nm。反射鏡9與準(zhǔn)直鏡10的法線(xiàn)與激光發(fā)射方向垂直。反射鏡9與準(zhǔn)直鏡10分別設(shè)置在分光鏡8的兩側(cè)。此外，干涉儀還包括(XD11，(XD11設(shè)置在準(zhǔn)直鏡10的后側(cè)。
[0015]He-Ne激光器1出射632.8nm的光束經(jīng)擴(kuò)束鏡照射在空間光調(diào)器3上，經(jīng)空間光調(diào)器3空間強(qiáng)度調(diào)制后的光束依次經(jīng)過(guò)第一透鏡4和第二透鏡5，再度聚焦于一點(diǎn)?？臻g光調(diào)器3上的環(huán)狀光強(qiáng)分布經(jīng)透鏡組第一透鏡4和第二透鏡5成像在旋轉(zhuǎn)毛玻璃6上，被照亮部分就構(gòu)成了可調(diào)的擴(kuò)展光源。旋轉(zhuǎn)毛玻璃6位于準(zhǔn)直鏡7的焦面上，其任意被照明點(diǎn)出射的光都將經(jīng)準(zhǔn)直鏡7準(zhǔn)直后進(jìn)入干涉腔，再經(jīng)第三透鏡7成像后于(XD11像面處發(fā)生干涉。調(diào)整被測(cè)鏡12的距離，使被測(cè)鏡12經(jīng)分光鏡8所形成的虛像位置和參考鏡的距離從_4mm變化到4_，分析CCD11采集到的干涉條紋?？梢?jiàn)，該系統(tǒng)可以通過(guò)改善照明條件來(lái)有效實(shí)現(xiàn)空間相干長(zhǎng)度的良好可調(diào)。本實(shí)用新型提供的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過(guò)毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布原理，通過(guò)改進(jìn)照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)干涉儀時(shí)間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，使干涉儀的相干性曲線(xiàn)基本符合理論計(jì)算的結(jié)果。
[0016]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，其特征在于:所述時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀主要包括激光器(1)、耦合系統(tǒng)(2)、空間光調(diào)器(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(5)、旋轉(zhuǎn)毛玻璃(6)、第三透鏡(7)、分光鏡(8)、反射鏡(9)和準(zhǔn)直鏡(10)，被測(cè)鏡(12)設(shè)置在分光鏡(8)的后側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，其特征在于:所述激光器(1)為He-Ne激光器，出射的光束波長(zhǎng)為632.8nm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，其特征在于:所述反射鏡(9)與準(zhǔn)直鏡(10)的法線(xiàn)與激光發(fā)射方向垂直。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，其特征在于:所述反射鏡(9)與準(zhǔn)直鏡(10)分別設(shè)置在分光鏡(8)的兩側(cè)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，其特征在于:所述干涉儀還包括0:0(11)，所述0:0(11)設(shè)置在準(zhǔn)直鏡(10)的后側(cè)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀，主要包括激光器(1)、耦合系統(tǒng)(2)、空間光調(diào)器(3)、第一透鏡(4)、第二透鏡(5)、旋轉(zhuǎn)毛玻璃(6)、第三透鏡(7)、分光鏡(8)、反射鏡(9)和準(zhǔn)直鏡(10)，被測(cè)鏡(12)設(shè)置在分光鏡(8)的后側(cè)。激光器(1)為He-Ne激光器，出射的光束波長(zhǎng)為632.8nm。本實(shí)用新型提供的時(shí)空相干性可調(diào)式干涉儀利用了激光通過(guò)毛玻璃旋轉(zhuǎn)屏所產(chǎn)生的非朗伯體的散射光強(qiáng)分布原理，通過(guò)改進(jìn)照明系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)干涉儀時(shí)間相干性的保持和空間相干性的可調(diào)，使干涉儀的相干性曲線(xiàn)基本符合理論計(jì)算的結(jié)果。
【IPC分類(lèi)】G01B9/02
【公開(kāi)號(hào)】CN204963782
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520261943
【發(fā)明人】林燕彬
【申請(qǐng)人】林燕彬
【公開(kāi)日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年4月25日