6，Z型腔第三臂17。所述z型腔第一臂15內依次安置的尾鏡4，第一波片5，激光增益介質6，第二波片7，雙折射濾波片8，凹面折疊鏡9。所述z型腔第二臂16內依次安置凹面折疊鏡9，黃光輸出鏡1。所述的Z型腔第三臂17內依次安置黃光輸出鏡1，倍頻晶體11，全反鏡12。
[0026]進一步的，激光增益介質6和倍頻晶體11由制冷裝置13進行底面散熱。制冷裝置13是循環(huán)水制冷裝置，激光增益介質6和倍頻晶體11的側面分別被包裹在紫銅散熱器中，底部安裝熱沉與水冷板連接，通過冷水循環(huán)將熱量攜帶走。
[0027]優(yōu)選的，激光增益介質6為雙端復合生長型Nd:YAG晶體，摻雜濃度為1.0at.%，尺寸為3 X 3 X 1mm3，前后兩端各2mm長的非摻雜YAG晶體，參雜區(qū)長度為6_，前后端面都鍍有對波長為808nm，1064nm，1116nm和1319nm的光束的增透膜，對808nm和1116nm光束的透射率大于99.8%，808nm和1319nm光束的透射率大于98%。
[0028]優(yōu)選的，第一波片5和第二波片7的雙面均鍍有對808nm大于95%的增透膜，并且該膜對1116nm譜線的反射率大于99.8%,對1064nm譜線透射率大于70 %，其快軸相互垂直，并且與雙折射濾波片8的起偏方向成45°角。
[0029]優(yōu)選的，倍頻晶體11選用三硼酸鋰(LBO)，尺寸為3X 3 X 1mm3，晶體兩端鍍有1116nm和558nm的增透膜，透射率大于99.8%；匹配方式采用一類臨界匹配，切割角度(Θ，Φ)為(90°，8°)。
[0030]優(yōu)選的，雙折射濾波片8選用石英玻璃，以布儒斯特角(56°)放置于腔內，表面鍍有對1116nm基頻光的增透膜，透射率大于99.8 %。
[0031 ] 優(yōu)選的，尾鏡4為平面鏡，輸入面鍍有對808nm透射率大于95%，對1064nm譜線透射率大于70 %的膜系;輸出面也鍍有對栗浦光大于95 %的增透膜，并且該膜對1116nm譜線的反射率大于99.8%，對1064nm譜線透射率大于70%。
[0032]本實用新型的所采用的Z型腔的每個臂的長度和各腔鏡的曲率半徑可以根據不同設計進行優(yōu)化選取。
[0033]優(yōu)選的，凹面折疊鏡9的曲率半徑為100mm，鍍有對1116nm譜線反射率大于99.8%的反射膜，并且對106411111譜線和132011111譜線透射率大于70%0
[0034]優(yōu)選的，黃光輸出鏡10的曲率半徑為50mm，鍍有對558nm譜線透射率大于95%的增透膜，并且對1116nm譜線反射率大于99.8%,對1064nm譜線的透射率大于50 %。
[0035]優(yōu)選的，全反鏡12的曲率半徑為50mm，鍍有對1116nm譜線和558nm譜線反射率大于99.8%的反射膜，并且對1064nm譜線的透射率大于50%。
[0036]優(yōu)選的，Z型腔第一臂15的長度為140mm、Z型腔第二臂16的長度為128mm，Z型腔第三臂17的長度為96mm，共長364mm。
[0037]優(yōu)選的，光纖2的芯徑20(^111，數值孔徑0.22。
[0038]實施例2:
[0039]與實施例1大體相同，不同之處如下:
[0040](I)激光增益介質為單端復合生長型Nd: YAG晶體，尺寸為3 X 3 X 9mm3，其中前端為4mm長的非摻雜YAG晶體，摻雜區(qū)長度為5mm，濃度為1.1at.%，前后端面都鍍有對波長為808nm，1064nm, 1116]11]1和1319111]1的光束的增透膜，其中對1116111]1和1064111]1的光束的透射率大于99.8%，808nm和1319nm光束的透射率大于98%。
[0041 ] (2)倍頻晶體11選用磷酸鈦氧鉀(KTP )，尺寸為3 X 3 X 8mm3，晶體兩端鍍有1116nm和558nm的增透膜，透射率大于99.8%;匹配方式采用二類臨界匹配，切割角度切割角度(Θ，Φ)為(62.8。,90°) ο
【主權項】
1.一種558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，包括: 一栗浦源系統(tǒng)(14)，所述栗浦源系統(tǒng)(14)包括在光路上依次安置的激光二極管LD(1)、光纖(2)以及聚焦耦合透鏡系統(tǒng)(3); 一 Z型諧振腔裝置，所述Z型諧振腔裝置包括在Z型腔內依次安置的尾鏡(4)、凹面折疊鏡(9)、黃光輸出鏡(10)以及全反鏡(12)，所述尾鏡(4)和凹面折疊鏡(9)之間放置有波片和激光增益介質(6)，所述凹面折疊鏡(9)與黃光輸出鏡(10)之間放置有雙折射濾波片(8)，所述黃光輸出鏡(10)和全反鏡(12)之間放置有倍頻晶體(11)。2.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述波片包括依次放置在激光增益介質(6)前后的第一波片(5)和第二波片(7)，所述第一波片(5)和第二波片(7)均為四分之一波片。3.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述尾鏡(4)、第一波片(5)、激光增益介質(6)、第二波片(7)、雙折射濾波片(8)、凹面折疊鏡(9)組成Z型腔第一臂(15);所述凹面折疊鏡(9)、黃光輸出鏡(10)組成Z型腔第二臂(16);所述黃光輸出鏡(1)、倍頻晶體(11)、全反鏡(12)組成Z型腔第三臂(17)。4.根據權利要求3所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述Z型腔第一臂(15)的長度為135?145mm，Z型腔第二臂(16)的長度為123?133mm，Z型腔第三臂(17)的長度為91?101mm。5.根據權利要求2所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述第一波片(5)和第二波片(7)均雙面鍍有增透膜，其快軸相互垂直，并且均與雙折射濾波片(8)的起偏方向30° — 60°角。6.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述激光增益介質(6)采用單端復合生長型Nd: YAG晶體或雙端復合生長型Nd: YAG晶體。7.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述激光增益介質(6)和倍頻晶體(11)都由制冷裝置(13)進行溫度控制。8.根據權利要求7所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述制冷裝置(13)是循環(huán)水制冷裝置，將激光增益介質(6)和倍頻晶體(11)放置于通過有冷卻循環(huán)水的散熱器中，熱量通過散熱器傳導至循環(huán)水中，再通過循環(huán)水將熱量攜帶走。9.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述尾鏡(4)為平面鏡，其表面鍍有增透膜。10.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述雙折射濾波片(8)采用石英玻璃，以布儒斯特角56°放置，其表面鍍有增透膜。11.根據權利要求1所述的558nm波長單頻輸出的全固體激光器，其特征在于，所述倍頻晶體(11)采用三硼酸鋰或磷酸鈦氧鉀。
【專利摘要】本實用新型公開了一種558nm波長單頻輸出的全固體激光器，包括一泵浦源系統(tǒng)，所述泵浦源系統(tǒng)包括在光路上依次安置的激光二極管LD、光纖以及聚焦耦合透鏡系統(tǒng)；一Z型諧振腔裝置，所述Z型諧振腔裝置包括在Z型腔內依次安置的尾鏡、凹面折疊鏡、黃光輸出鏡以及全反鏡，所述尾鏡和凹面折疊之間放置有波片和激光增益介質，所述凹面折疊鏡與黃光輸出鏡之間放置有雙折射濾波片，所述黃光輸出鏡和全反鏡之間放置有倍頻晶體。本實用新型充分利用了腔內基頻光的高功率密度，并采用Z型腔提高了倍頻效率，實現了單縱模、低噪聲、高功率和高能量的黃光激光輸出，成功的解決了現有技術中激光器的缺點。
【IPC分類】H01S3/16, H01S3/109, H01S3/0941
【公開號】CN205303940
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】李智, 周軍, 肖湖福
【申請人】南京先進激光技術研究院
【公開日】2016年6月8日
【申請日】2015年12月22日