的銀膏61的印刷圖案與實(shí)施方式I的情況同樣地，是表銀柵格電極5和表銀總線電極6的形狀。圖9-1是表示在半導(dǎo)體基板11的一面?zhèn)扔∷⒘说贗層的銀膏61的狀態(tài)的平面圖。圖9-2是放大圖9-1中的區(qū)域B、區(qū)域C、區(qū)域D而表示的主要部分放大圖。在圖9-2中，(a)放大表示區(qū)域B、(b)放大表示區(qū)域
C、(c)放大表示區(qū)域D。
[0120]此時(shí)，第I層的銀膏61是以與上述的實(shí)施方式I中的η型摻雜膏21的印刷相同的印刷方法以及印刷圖案來(lái)印刷。即，在圖9-1中的X方向上，隨著接近位于X方向的中央的梳齒狀的第I層的銀膏的印刷圖案61C(以下，有時(shí)稱(chēng)為中央印刷圖案61C)，梳齒狀的印刷圖案分別變窄。因而，位于圖9-1中的X方向的左端的梳齒狀的第I層的銀膏的印刷圖案61L(以下，有時(shí)稱(chēng)為左端印刷圖案61L)以及位于X方向的右端的梳齒狀的第I層的銀膏的印刷圖案61R(以下，有時(shí)稱(chēng)為右端印刷圖案61R)的印刷寬度變得最粗。即，左端印刷圖案61L以及右端印刷圖案61R的寬度h變得最粗。另外，中央印刷圖案61C的寬度i變得最窄。并且，在印刷了第I層的銀膏61之后，使該第I層的銀膏61干燥。
[0121]在第I層的銀膏61的印刷圖案中，如圖9-1以及圖9-2所示地在圖9-1中的X方向的左端印刷圖案61L中的延伸方向的中央部的區(qū)域B，通過(guò)第I層的銀膏61來(lái)印刷對(duì)位標(biāo)記部62L。通過(guò)第I層的銀膏61將對(duì)位標(biāo)記部62L印刷成例如從左端印刷圖案61L突出的特定的形狀。
[0122]另外，在第I層的銀膏61的印刷圖案中，如圖9-1以及圖9-2所示地，在圖9-1中的X方向的右端印刷圖案61R中的延伸方向的中央部的區(qū)域D，通過(guò)第I層的銀膏61來(lái)印刷對(duì)位標(biāo)記部62R。通過(guò)第I層的銀膏61將對(duì)位標(biāo)記部62R印刷成例如以從右端印刷圖案61R突出的特定的形狀。
[0123]對(duì)位標(biāo)記部62L以及對(duì)位標(biāo)記部62R用于在之后的第2層的銀膏63的印刷工序中向第I層的銀膏61高精度地疊加第2層的銀膏63。
[0124]接著，印刷第2層的銀膏63。圖10-1是表示在半導(dǎo)體基板11的一面?zhèn)扔∷⒘说?層的銀膏63的狀態(tài)的平面圖。圖10-2是放大圖10-1中的區(qū)域B、區(qū)域C、區(qū)域D而表示的主要部分放大圖。在圖10-2中，(a)放大表示區(qū)域B、(b)放大表示區(qū)域C、(c)放大表示區(qū)域D。另外，在第2層的銀膏63的印刷時(shí)，在位于圖10-1中的X方向的左端的梳齒狀的第2層的銀膏的印刷圖案63L(以下，有時(shí)稱(chēng)為左端印刷圖案63L)中的延伸方向的中央部的區(qū)域B，通過(guò)第2層的銀膏63來(lái)印刷對(duì)位標(biāo)記部64L。對(duì)位標(biāo)記部64L例如設(shè)為從左端印刷圖案63L突出的特定的形狀，設(shè)為與左端印刷圖案61L的對(duì)位標(biāo)記部62L相對(duì)應(yīng)的形狀。
[0125]另外，在第2層的銀膏63的印刷時(shí)，在位于圖10-1中的X方向的右端的梳齒狀的第2層的銀膏的印刷圖案63R(以下，有時(shí)稱(chēng)為右端印刷圖案63R)中的延伸方向的中央部的區(qū)域D，通過(guò)第2層的銀膏63來(lái)印刷對(duì)位標(biāo)記部64R。對(duì)位標(biāo)記部64R例如設(shè)為從右端印刷圖案63R突出的特定的形狀，設(shè)為與右端印刷圖案6 IR的對(duì)位標(biāo)記部62R相對(duì)應(yīng)的形狀。
[0126]并且，第2層的銀膏63的印刷以與上述的實(shí)施方式I中的銀膏12a的印刷相同的印刷方法以及印刷圖案進(jìn)行印刷。即，以第I層的銀膏61的對(duì)位標(biāo)記和第2層的銀膏63的對(duì)位標(biāo)記一致的方式進(jìn)行印刷。即，以對(duì)位標(biāo)記部62L的位置和對(duì)位標(biāo)記部64L的位置、以及對(duì)位標(biāo)記部62R的位置和對(duì)位標(biāo)記部64R的位置一致的方式，對(duì)第2層的銀膏63印刷用的印刷載置臺(tái)的位置(第2層的銀膏63的印刷位置)進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行。此時(shí)，作為精度最佳的重疊點(diǎn)的定位基準(zhǔn)點(diǎn)成為半導(dǎo)體基板11的面內(nèi)的中央部。在圖10-1中，定位基準(zhǔn)點(diǎn)用X標(biāo)記表不O
[0127]第2層的銀膏63印刷用的印刷掩模是以相同間隔并排地具有比在表銀柵格電極5的寬度方向上最接近定位基準(zhǔn)點(diǎn)的第I層的銀膏61的圖案的寬度更窄的相同寬度的多個(gè)開(kāi)口圖案的印刷掩模。并且，在表銀柵格電極5的寬度方向上最接近定位基準(zhǔn)點(diǎn)的第I層的銀膏61的圖案和與該第I層的銀膏61的圖案的位置相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口圖案精度最佳地位置對(duì)準(zhǔn)。
[0128]并且，第2層的銀膏63的印刷圖案中的梳齒狀的部分也同樣地，印刷在梳齒狀的第I層的銀膏61上面。另外，表銀總線電極6形成用的銀膏63圖案也印刷在相對(duì)應(yīng)的第I層的銀膏61上面。表銀柵格電極的第2層的銀膏63的印刷寬度j是以全都相同的印刷寬度來(lái)印刷。另外，表銀柵格電極5的第2層的銀膏63的印刷間隔是以全都相同的印刷間隔來(lái)印刷。
[0129]從定位基準(zhǔn)點(diǎn)側(cè)起對(duì)第I層的銀膏61的印刷部分和第2層的銀膏63的印刷位置進(jìn)行匹配(從定位基準(zhǔn)點(diǎn)側(cè)起高精度地重疊)。因此，即使發(fā)生了第2層的銀膏63印刷用的印刷掩模的延展、歪斜等，在定位基準(zhǔn)點(diǎn)側(cè)也印刷精度高，也不產(chǎn)生印刷偏移。
[0130]另一方面，隨著從定位基準(zhǔn)點(diǎn)分離，印刷位置逐漸地偏移，從而產(chǎn)生印刷偏移。因此，從定位基準(zhǔn)點(diǎn)分離的位置的第I層的銀膏61的寬度以在第2層的銀膏63的印刷工序中第2層的銀膏63不會(huì)從第I層的銀膏61露出的方式具有某程度的寬度。即，第I層的銀膏61的圖案中的梳齒狀的部分隨著從定位基準(zhǔn)點(diǎn)分離，梳齒狀的圖案分別變粗。由此，即使產(chǎn)生第2層的銀膏印刷用的印刷掩模的延展、歪斜等導(dǎo)致的印刷偏移量k的情況下，也能夠不使第2層的銀膏63的印刷部分從第I層的銀膏61的印刷部分露出地進(jìn)行印刷。
[0131]并且，在接近定位基準(zhǔn)點(diǎn)的位置處，第2層的銀膏63的印刷精度高，因此使第I層的銀膏61的寬度窄。由此，第2層的銀膏63的印刷部分不會(huì)從第I層的銀膏61的印刷部分露出地進(jìn)行印刷。
[0132]這樣，在表銀柵格電極5的寬度方向上從定位基準(zhǔn)點(diǎn)分離的位置的表銀柵格電極5中，也能夠不產(chǎn)生第2層的銀膏63的印刷部分與第I層的銀膏61的印刷部分的印刷偏移地印刷電極，能夠減小定位基準(zhǔn)點(diǎn)側(cè)的電極面積。因此，能夠防止受光面?zhèn)入姌O導(dǎo)致的受光面積的減小而提尚太陽(yáng)能電池的光電變換效率。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)太陽(yáng)能電池的特性提尚和用于形成受光面?zhèn)入姌O的成本的削減。
[0133]因而，根據(jù)實(shí)施方式2，能夠獲得防止了以受光面?zhèn)入姌O的印刷偏移為起因的光電變換效率的降低的光電變換效率優(yōu)良的太陽(yáng)能電池。
[0134]此外，在上述中，對(duì)在未具有選擇性發(fā)射極構(gòu)造的太陽(yáng)能電池中將電極膏多次疊加印刷來(lái)形成多層電極的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是也能夠適用于具有實(shí)施方式I的選擇性發(fā)射極構(gòu)造的太陽(yáng)能電池的電極形成。
[0135]另外，形成多個(gè)具有在上述的實(shí)施方式中說(shuō)明的結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能電池單元，將相鄰的太陽(yáng)能電池單元彼此之間進(jìn)行串聯(lián)或者并聯(lián)電連接，從而能夠?qū)崿F(xiàn)光電變換效率優(yōu)良的太陽(yáng)能電池模塊。在這種情況下，例如只要將相鄰的太陽(yáng)能電池單元的一個(gè)受光面?zhèn)入姌O12和另一個(gè)背面?zhèn)入姌O13電連接即可。
[0136]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0137]如以上那樣，本發(fā)明的太陽(yáng)能電池在防止電極的印刷偏移的光電變換效率優(yōu)良的太陽(yáng)能電池的實(shí)現(xiàn)中有用。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種太陽(yáng)能電池，其特征在于，具備: 第I導(dǎo)電型的半導(dǎo)體基板，在作為受光面?zhèn)鹊囊幻鎮(zhèn)染哂斜粩U(kuò)散第2導(dǎo)電型的雜質(zhì)元素的雜質(zhì)擴(kuò)散層； 多根受光面?zhèn)入姌O，是通過(guò)電極材料膏的多層印刷而形成于所述一面?zhèn)炔⑴c所述雜質(zhì)擴(kuò)散層電連接的多層構(gòu)造的膏電極，并且該多根受光面?zhèn)入姌O在所述半導(dǎo)體基板的面方向的特定方向上平行地延伸而具有線狀形狀；以及背面?zhèn)入姌O，形成于所述半導(dǎo)體基板的另一面?zhèn)龋?在所述多根受光面?zhèn)入姌O中，隨著在所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上接近特定的基準(zhǔn)位置，各個(gè)所述受光面?zhèn)入姌O的寬度變窄。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于， 所述多個(gè)受光面?zhèn)入姌O具有所述多層構(gòu)造中的下層部和形成在所述下層部上面的上層部， 所述多根受光面?zhèn)入姌O中的所述下層部隨著在所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上接近特定的基準(zhǔn)位置，寬度分別變窄， 所述多根受光面?zhèn)入姌O中的所述上層部的寬度相同，比形成于各個(gè)下部區(qū)域的所述下層印刷部的寬度窄。3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于， 所述特定的基準(zhǔn)位置是所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上的所述下層部和所述上層部的位置對(duì)準(zhǔn)精度最高的位置。4.一種太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，包含: 第I工序，在第I導(dǎo)電型的半導(dǎo)體基板的成為受光面?zhèn)鹊囊幻鎮(zhèn)葦U(kuò)散第2導(dǎo)電型的雜質(zhì)元素而在所述半導(dǎo)體基板的一面?zhèn)刃纬呻s質(zhì)擴(kuò)散層； 第2工序，將在所述半導(dǎo)體基板的面方向的特定方向上平行地延伸并與所述雜質(zhì)擴(kuò)散層電連接的線狀形狀的多根受光面?zhèn)入姌O通過(guò)利用絲網(wǎng)印刷進(jìn)行的電極材料膏的多層印刷來(lái)形成于所述半導(dǎo)體基板的一面?zhèn)?；以?第3工序，將與所述半導(dǎo)體基板的另一面?zhèn)入娺B接的背面?zhèn)入姌O形成于所述半導(dǎo)體基板的另一面?zhèn)龋? 在所述第2工序中， 以隨著在所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上接近特定的基準(zhǔn)位置而寬度分別變窄的印刷圖案印刷多根所述多層印刷中的下層的電極材料膏， 使用以相同間隔并列地具有比在所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上最接近所述特定的基準(zhǔn)位置的所述下層的電極材料膏的印刷圖案的寬度更窄的相同寬度的多個(gè)開(kāi)口圖案的印刷掩模，使在所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上最接近所述特定的基準(zhǔn)位置的所述下層的電極材料膏的印刷圖案和與該印刷圖案的位置相對(duì)應(yīng)的所述開(kāi)口圖案的位置對(duì)準(zhǔn)，將所述多層印刷中的上層的電極材料膏印刷在所述多根下層的電極材料膏的印刷圖案上面。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于， 在所述第2工序中， 在印刷所述下層的電極材料膏時(shí)，在所述下層的電極材料膏的印刷圖案中的既定的多個(gè)地方印刷位置對(duì)準(zhǔn)用的第I對(duì)位標(biāo)記部， 在印刷所述上層的電極材料膏時(shí)，將在所述上層的電極材料膏的印刷圖案中與所述第I對(duì)位標(biāo)記部的位置相對(duì)應(yīng)的既定的多個(gè)地方所設(shè)置的位置對(duì)準(zhǔn)用的第2對(duì)位標(biāo)記部位置與相對(duì)應(yīng)的位置的所述第I對(duì)位標(biāo)記部位置對(duì)準(zhǔn)來(lái)印刷所述上層的電極材料膏， 所述特定的基準(zhǔn)位置是基于所述第I對(duì)位標(biāo)記部和所述第2對(duì)位標(biāo)記部的位置對(duì)準(zhǔn)的、所述下層的電極材料膏的印刷圖案和所述開(kāi)口圖案的所述受光面?zhèn)入姌O的寬度方向上的位置對(duì)準(zhǔn)精度最高的位置。6.一種太陽(yáng)能電池模塊，其特征在于， 該太陽(yáng)能電池模塊是將權(quán)利要求1?3中的任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)能電池的至少2個(gè)以上被串聯(lián)或者并聯(lián)電連接而成的。
【專(zhuān)利摘要】具備第1導(dǎo)電型的半導(dǎo)體基板(11)，在作為受光面?zhèn)鹊囊幻鎮(zhèn)染哂斜粩U(kuò)散第2導(dǎo)電型的雜質(zhì)元素的雜質(zhì)擴(kuò)散層；多根受光面?zhèn)入姌O(61、63)，是在一面?zhèn)韧ㄟ^(guò)電極材料膏的多層印刷形成并與雜質(zhì)擴(kuò)散層電連接的多層結(jié)構(gòu)的膏電極，在半導(dǎo)體基板(11)的面方向的特定方向上平行地延伸而具有線狀形狀；以及背面?zhèn)入姌O，形成于半導(dǎo)體基板(11)的另一面?zhèn)龋诙喔芄饷鎮(zhèn)入姌O(61、63)中，隨著在受光面?zhèn)入姌O(61)的寬度方向上接近特定的基準(zhǔn)位置，各個(gè)受光面?zhèn)入姌O(61)的寬度變窄。
【IPC分類(lèi)】H01L31/0224, H01L31/18, H01L31/068
【公開(kāi)號(hào)】CN105706245
【申請(qǐng)?zhí)枴?br>【發(fā)明人】田村宣裕, 幸畑隼人, 浜篤郎
【申請(qǐng)人】三菱電機(jī)株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2016年6月22日
【申請(qǐng)日】2013年11月7日